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Werkstoffanalysen
Elektronenstrahl-Mikroanalyse (EPMA)
Die Elektronenstrahl-Mikroanalyse dient zur quantitativen Elementanalyse von Festkörpern im Mikrobereich. Es können qualitative und quantitative Punktanalysen, sowie Konzentrationsprofile (Linescans) und Flächenanalysen (Elementverteilungsbilder) durchgeführt werden.

So funktioniert die Elektronenstrahl-Mikroanalyse

Ein fein gebündelter Elektronenstrahl erzeugt am Untersuchungsobjekt Röntgenstrahlung. Die Röntgenwellenlängen sind für Probenelemente charakteristisch. Durch Analyse der Röntgenstrahlung auf Wellenlängen und Intensitäten ist die Bestimmung der Elementkonzentrationen mit hoher Genauigkeit möglich.

Prinzip der Elektronenstrahl-Mikroanalyse
Die Ausstattung unserer Joel JXA-8800 Elektronenmikrosonde beinhaltet drei WDX Spektrometer und einen EDX-Detektor.

Vorteile dieser Methode

Die Methode ermöglicht genaue chemische Analysen von Werkstoffen jeglicher Art mit hoher örtlicher Auflösung (1-150 µm). Es können alle Elemente inklusive der “leichten“ Elemente ab der Ordnungszahl 5 (z.B. O, C oder N) analysiert werden. Die Nachweisgrenze beträgt je nach Element und Probe 10-500 µg/g (ppm).

Einige Anwendungsgebiete

  • Chemische Zusammensetzung sehr kleiner Proben
  • Lokale Analyse im Mikrometerbereich (Phasen, Einschlüsse,…)
  • Zusammensetzung von Schichten (Plasmaspritzschichten, galvanische Schichten, Oxidschichten, etc.)
  • Spurenanalytik

Element 

Al
Si
P
S
Ti
V

 (Gew.%)

<0.050
0.20
<0.050
0.025
<0.050
<0.050

Elemetverteilungsbilder
einer Plasmaspritzschicht
Oben links: SE Bild und in
der Reihenfolge Cr, Al u. O
 
 

Vollquantitative chemische
Analyse einer sehr kleinen
Probe
Der Durchmesser des
analysierten Bereichs
beträgt ca 5µm
Cr
Mn
Co
Ni
Cu
Nb
Mo
W
Fe
21.2
0.82
0.28
12.5
0.45
<0.050
0.38
<0.050
Basis

Lieferzeit

Die Lieferzeit für Elektronenstrahl-Mikroanalysen beträgt in der Regel 2-3 Arbeitstage.

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